访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

重要考古发现：陕西石峁遗址皇城台发现石峁文化最高等级墓地******

　　新华社西安1月12日电（记者杨一苗）作为中华文明探源工程重要组成部分的陕西石峁遗址，在2022年的考古发掘工作中又有重要发现，考古工作者在石峁遗址的核心区域——皇城台的顶部西侧发现一处高等级墓地，目前已发现距今约4000年的石峁文化时期竖穴土坑墓15座、石墙多道。

　　这是石峁遗址皇城台发现的高等级墓地。

　　1月12日，2022年度陕西重要考古发现新闻发布会在西安举行。陕西省考古研究院研究馆员邵晶在新闻发布会上介绍了石峁遗址的最新考古发现。这次发现的墓地由一道宽约4米的石墙与皇城台核心建筑分布区隔开。15座竖穴土坑墓可分为南北两区，其中南区墓葬等级更高，平面为圆角长方形，墓室面积普遍超过10平方米，深3.5米至4米。墓葬普遍使用木质棺椁，由榫卯套接而成，已朽为灰痕，墓内普遍殉人。因遭严重盗扰，墓主葬式不详、壁龛中多数器物已被盗。个别墓葬内壁龛未遭破坏，出土有整套完整陶器，器表施红色彩绘。在个别墓葬棺内及盗洞中发现有少量玉器及残片，可辨识的有钺、凿、环等。

　　这是石峁遗址皇城台高等级墓地中出土的玉锛。

　　这是石峁遗址皇城台高等级墓地中出土的陶器。

　　邵晶说，这次考古发现的墓地是目前所发现等级最高的石峁文化墓地，墓地与皇城台“大台基”共同构建起皇城台上“前宫殿后墓地”的基本格局。另外，墓地中南区墓葬具有连排分布和围绕墓葬建有石墙等特征，表明石峁文化高等级墓地已具有成熟的规划意识和墓上建筑，或已形成墓园雏形。皇城台高等级墓地更加彰显出石峁社会的文明化程度，是石峁已进入早期国家形态的重要实证，是近年来中华文明探源工作的重要收获。